Fertigungs- und Werkstofftechnik

Im Kurs Mikrosystemtechnik werden die Grundlagen der Mikrosystemtechnik vermittelt: verschiedene Fertigungstechnologien,  Materialien und Anwendungen..

Neben den Methoden der klassischen Mikrotechnik, werden Methoden der silizium gestützten Halbleitertechnologie diskutiert. Ein großer Teil der Vorlesung umfasst aktuelle Anwendungen in der Sensorik und Aktorik.  

Vom Bild zur Entscheidung: Moderne optische Messverfahren in Fertigungs- und Werkstofftechnik